脫硫脫硝臭氧發生器是利用臭氧的強氧化性將煙氣中的NOx、SOx氧化為更高價位的可溶水化合物再通過濕法洗滌吸收的一種新型脫硫脫硝同時脫除技術。臭氧脫硫效率可輕易達到SCR的脫除效率，且透過調整摩爾比、洗滌劑種類其效率很高。反應時間短，速度快。臭氧與NOX反應速度很快，只需要很短的時間，即可將NOX氧化成高價態的NO2和N2O5。因此不需要特別的反應設備，只需要在煙氣管道中混合，即可進行。

臭氧具有僅次于氟的強氧化性，完全有能力將煙氣惡劣環境中的NO氧化成高價態，提高煙氣中氮氧化物的水溶性，從而通過濕法洗脫。以臭氧替代其它氧化試劑，通過特殊工藝控制脫硝反應過程，使堿液吸收反應的產物以固體形式存在，實現了氣態污染物的固化處理，不產生二次污染。