對臭氧在水處理中的應用：由于臭氧比氯有較高的氧化電位，因此它比氯消毒具有更強的殺菌作用，對細菌的作用也比氯快，消耗量明顯較小，具在很大程度上不受PH值的影響。在0.45mg/L臭氧作用下，經過2min，脊髓灰質炎病毒即死亡；如用氯消毒，則劑量為2mg/L時需經過3h。當1mL水中含有274~325個大腸菌，在臭氧劑量為1mg/L時可降低在腸菌數86%；劑量為2mg/L時，水幾乎可以完全被消毒。

較之傳統的氯消毒方法臭氧消毒優點：消毒的同時可改善水的性質，且較少產生附加的化學物質污染；不會產生如氯酚那樣的臭味；不會產生三鹵甲烷等氯消毒的消毒副產物；臭氧可就地制造，獲得它只需要電能；某些特定的用水中，如食品加工，飲料生產以及微電子工業等，臭氧消毒不需要從已凈化的水中除去過剩殺菌劑的附加工序，如用氯消毒時的脫氯工序。