大中型水冷器臭氧產生器在造成臭氧的情況下，會形成一定的發熱量，讓設備里面的溫度持續上升。而機器設備較高的溫度會把臭氧開展分裂，讓臭氧轉變成O2，并減少了臭氧的發生量。因此在轉化成臭氧的情況下，污水處理臭氧發生一定要對臭氧發生器開展冷卻，那樣才可以平穩并提升臭氧的發生量。

臭氧發生器的冷卻方式有風冷、水冷器二種。工業生產臭氧產生器多見中中大型的臭氧產生器，一般是自來水冷方式開展冷卻。在制定并應用產生器的情況下，一定要遵循相應的標準，那樣才會得到高生產量的臭氧，才可以確保產生器的常規運作。

在臭氧發生器應用的冷卻水的水體規定是非常嚴謹的。規定濁度≤1度（NTU），工作壓力0.2~0.4Mpa，溫度≤28℃，PH值6-9，氯離子含量更高值≤100mg/l。一般應用干凈的自來水或是循環系統冷卻水來開展冷卻。當場不具有循環系統冷卻水的，因用飲用水需求量比較大，產生多余消耗，可以因地制宜，應用解決過的原水歷經板式熱交換器對里循環系統冷卻水減溫，隨后汽車內循環冷卻水對臭氧產生器開展冷卻。汽車內循環冷卻水一般應用純凈水。