大型臭氧發生器在產生臭氧時，會產生熱量，使設備內部溫度升高。較強的溫度會分解臭氧，降低臭氧量。因而在臭氧的產生情況下，務必對產生器開展制冷，以平穩和提升臭氧量。

臭氧發生器的冷卻方式有空冷和水冷。工業臭氧發生器多為大中型臭氧發生器，一般選用水冷方法制冷。在產生器的設計和使用時，必須遵循相關標準，以得到臭氧的增產，確保產生器的正常運轉。

一般采用自來水或循環冷卻水制冷。如果現場沒有循環冷卻水，因為應用大量自來水，會導致不必要的消耗。可以用本地材料。解決前的原水根據板式換熱器對里循環冷卻水開展制冷，再利用內循環冷卻水對臭氧發生器開展制冷。蒸餾水一般用于內循環冷卻水。