臭氧是一種廣譜性、效率高的殺菌消毒劑。臭氧比氧分子具有大量的活力氧原子臭氧。這是氧化劑，在一定濃度值下迅速殺死空氣中的病菌。無有害殘余物，無二次污染。以氣體和氧氣為原料，高頻髙壓充放電造成臭氧。

依據制氧塔的變壓吸附的的，將空氣中的氧氣和N2在常溫和工作壓力下分離出來，導致高純的氧氣，氧氣純度能夠達到90%，隨后這類氧氣依據電弧放電法進到臭氧發生器導致臭氧，這種臭氧氣體與水混和后產生臭氧水，具有殺菌消毒等各種作用。

影響臭氧發生器消毒實際效果的因素許多，在其中主要是：

1.臭氧均勻性：在消毒室內空間內，務必確保全部角落和間隙里的臭氧濃度做到消毒規范，不然消毒實際效果仍然很差。因而，在總體規劃消毒計劃時，務必認真考慮生產現場構造、臭氧加方法、臭氧發生器的功效等要素。

2.臭氧需求量:室內空間消毒是指臭氧的總數不能超出指標，室內空間內臭氧濃度無法滿足必要的型號規格，消毒的實際效果一定會受到損害。在臭氧用量的測算中，務必在運輸物流全過程中考慮到臭氧消耗、門窗泄漏等引起因素。

3.消毒時間：臭氧消毒除菌雖在一瞬間開展，但臭氧濃度須在一定時間段內沉積在室內空間，如無消毒時間，亦會危害消毒實際效果，一般規定臭氧發生器在30分鐘至一小時內關閉門窗。